隨著真空度的提高，泵入口管道中的壓力降低，氣流會由定向黏滯流逐漸轉變?yōu)樽杂煞肿恿?。這時候油蒸氣分子的平均自由程不斷增大，分子間的碰撞次數不斷減少，就有機會通過粗抽管道進入到真空室中，污染真空系統(tǒng)。
　旋殼泵的返油率與真空泵的大小、工作溫度、旋片的線速度等因素有關。
 像旋殼泵在工作中，金屬旋片會與泵腔內壁不斷摩擦會產生局部過熱，使旋片連續(xù)劃破油潤滑膜，導致泵油發(fā)生單純性的熱分解或熱金屬作觸媒的分解。
　泵油裂解后成為輕餾分的油蒸氣，這種油蒸氣分子量小，易反擴散，就容易跑到高真空端。
　如果旋殼泵與油擴散泵組成真空系統(tǒng)，機械泵返油不僅影響擴散泵的極限真空，同時還會增加擴散泵的返油。在運用旋殼泵的過程中，要做好清潔工作。